ภาพถ่าย TEM ของทังสเตนออกไซด์สีม่วง

ภาพ TEM สีม่วงทังสเตนออกไซด์หมายถึงกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่งผ่าน HRTEM เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านความละเอียดสูง

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่งผ่าน (TEM) เป็นเทคนิคกล้องจุลทรรศน์ที่ลำแสงอิเล็กตรอนถูกส่งผ่านชิ้นงานที่บางเป็นพิเศษและมีปฏิสัมพันธ์กับชิ้นงานในขณะที่ผ่านไป ภาพเกิดจากปฏิกิริยาของอิเล็กตรอนที่ส่งผ่านชิ้นงาน ภาพจะถูกขยายและเน้นไปที่อุปกรณ์ถ่ายภาพเช่นหน้าจอเรืองแสงบนชั้นของฟิล์มถ่ายภาพหรือจะตรวจจับโดยเซ็นเซอร์เช่นอุปกรณ์ที่มีประจุบวก

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องผ่านความละเอียดสูง (HRTEM) หรือ (HREM) เป็นโหมดถ่ายภาพของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่งผ่าน (TEM) ที่ช่วยให้สามารถถ่ายภาพโครงสร้างอะตอมของตัวอย่างได้โดยตรง HRTEM เป็นเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพในการศึกษาคุณสมบัติของวัสดุในระดับอะตอมเช่นเซมิคอนดักเตอร์, โลหะ, อนุภาคนาโนและคาร์บอนยึดติด sp2 (เช่น graphene, C nanotubes) ในขณะที่ HRTEM มักใช้เพื่ออ้างถึงการสแกนความละเอียดสูง (STEM, ส่วนใหญ่อยู่ในโหมดมุมกว้างของฟิลด์มืดวงแหวน) บทความนี้อธิบายการถ่ายภาพวัตถุส่วนใหญ่โดยการบันทึกการกระจายคลื่นเชิงพื้นที่ 2D ในระนาบภาพ เพื่อกล้องจุลทรรศน์แสง "คลาสสิก" สำหรับการแก้ความกำกวมเทคนิคก็มักจะถูกเรียกว่าเฟสคอนทราสต์ TEM ในปัจจุบันความละเอียดจุดสูงสุดที่รับรู้ได้ในความต่างเฟส TEM อยู่ที่ประมาณ 0.5 ångströms (0.050 nm) ในระดับขนาดเล็กเหล่านี้อะตอมของผลึกและข้อบกพร่องของมันสามารถแก้ไขได้ สำหรับคริสตัลสามมิติอาจจำเป็นต้องรวมมุมมองหลายมุมที่นำมาจากมุมที่แตกต่างกันลงในแผนที่ 3 มิติ เทคนิคนี้เรียกว่าการตกผลึกอิเล็กตรอน